プロセス・微細加工 FabMeisterシリーズ
プロセス・微細加工分野におけるシミュレーター等のソリューションなどを紹介しています。
FabMeister-IMは、大手半導体メーカで開発されたイオン注入後の不純物分布の計算ツールです。デバイス・プロセス開発者が容易に計算することが出来ます。
3次元SEM・STEM解析シミュレーター「FabMeister-EB」は、実験データの解釈において理論的なアプローチを試みることに始まり、計測・評価技術の実用化支援を目指しています。
マイクロマシン・プロセスにおいて、今後重要な役割を果たすものと考えられるマイクロマシンCADシステムの基礎となる単結晶シリコンの3次元エッチング形状シミュレーターです。
電子線リソグラフィにおける露光、酸の発生・拡散を考慮した現像前処理、および現像に至る一連のプロセスの解析ツールです。LER解析機能、最適プロセス条件の抽出機能等があります。
試作ウエハのTEGトランジスタ電気特性評価を行い、プロセス設計を支援するシステムです。ばらつき低減、早期歩留り向上をはかり短TAT化を実現します。ウェブベースシステムであり会社全体で利用いただけます。
平衡平板型RF、ECR、ICPなどのプラズマ発生装置のプラズマ状態を解析するシミュレーターです。プラズマ中のイオン濃度分布、ラジカル濃度分布、電界分布、電子エネルギー分布等の解析が可能です。
プラズマエッチング、CVD、スパッタリング、イオン注入などの加工プロセスにおける基板表面形状（エッチングデポジション）の時間発展を解析するシミュレーターです。
プラズマプロセスにおけるプラズマの発生、イオンの引込み、表面反応過程を解析するシミュレーターです。
従来経験と勘に頼っていためっきプロセスにおける装置設計、パターン設計、めっきパターンレイアウトなどの最適設計を支援する3次元シミュレーターです。
単結晶シリコンをアルカリ系水溶液でエッチングする際のエッチングレートを全方位について測定した結果のデータベースです。
みずほ情報総研では、電子線リソグラフィシミュレーター、SEM・STEM像解析シミュレーターなど電子線散乱シミュレーション技術を用いソリューションを提供しています。
みずほ情報総研株式会社では、電子線応用技術、プラズマ加工技術、めっき加工技術など微細加工の有識者の方にご講演いただく、微細加工技術セミナー（無料）を開催しています。
東北大学寒川誠二教授の技術協力の下、3種類のオンウェハセンサーを用いたモニタリング技術により測定された電子、イオン、フォトンなどの活性種に関する各種情報を入力データとした、高精度なプラズマプロセスにおける加工形状および損傷予測解析サービスです。
