MEMS用設計・解析支援システム MemsONE 概要
MemsONEは、経済産業省／独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構の委託により産学連携コンソーシアム（9企業、13大学、1研究機関、1団体）を結成し、平成16年度から18年度の3年間を費やして開発された国内初のMEMS設計開発用統合システムです。
What`s New
- 2012年2月6日 MemsONE Ver.5.0 リリース
- 2011年2月7日 MemsONE Ver.4.0 リリース
- 2010年1月20日 MemsONE Ver.3.0 リリース
- 2009年2月2日 MemsONE Ver.2.0 リリース
- 2008年6月2日 MemsONE Ver.1.1 リリース
- 2008年2月12日 MemsONE Ver. 1.0 リリース
「MemsONE」とは
新たに発売する「MemsONE」は、経済産業省／独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構の委託により産学連携コンソーシアム（9企業、13大学、1研究機関、1団体）を結成し、平成16年度から18年度の3年間を費やして開発された国内初のMEMS設計開発用統合システムです。
本システムは多くの異分野の技術者やMEMSプロセスに精通していない技術者がMEMSデバイスを容易に設計し、マスク描画を行い、迅速に試作評価を行うことを可能にしました。
また、開発したシステムは、全体を統合管理するGUIを実装した「フレームワークソフト」とMEMSの設計・開発に必要となる構造、機構、電磁場、熱伝導などの基本的な数値解析機能を備えた「機構解析シミュレータ」、MEMSプロセスシミュレータもしくはエミュレータにより加工構造を実現し総合的に検証、評価する「プロセス解析ツール」、世界初の技術となる「プロセス逆問題解析ソフト」、そのほか接合実装解析など「機能拡張ソフト」で構成されています。各機能とも外部プラグイン機能を備え、従来のソフトとの互換性を保てるほか、財団法人マイクロマシンセンターの所有するMEMS分野の知識データベースや材料・プロセスデータベースの接続も可能となっており、MEMSデバイスの設計から試作評価までをサポートいたします。
システム構成
MemsONE 機能構成
- フレームワークソフト：日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社
- 機構解析シミュレータ、プロセス解析シミュレータ、ウェットエッチング解析シミュレータ、ナノインプリント解析シミュレータ：みずほ情報総研株式会社
- プロセス逆問題解析ソフト、MEMS回路シミュレータ：株式会社数理システム
- 知識データベース、材料・プロセスデータベース：財団法人マイクロマシンセンター
MEMSONE／メムスワンは財団法人マイクロマシンセンターの登録商標です。
ソリューション一覧
マイクロマシン・MEMS分野におけるシミュレーター等のソリューションです。
お問い合わせ
担当：サイエンスソリューション部
電話：03-5281-5311
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