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MEMSデバイスの各種解析を有機的に連携、ユーザ知見や材料データの効率的な活用を実現

統合型MEMS用設計・解析支援システム「MemsONE」Ver.5.0をリリース

2012年2月6日
MemsONEコンソーシアム

一般財団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、株式会社数理システムにより構成される「MemsONEコンソーシアム」(*1)は、本日よりMEMS(*2)用設計・解析ソフトウェア「MemsONE」Ver.5.0の販売を開始します。

「MemsONE」は、MEMSの設計・開発における構造、電磁場、熱伝導などの数値解析機能を備え、動作機構を総合的に検証・評価する「機構解析シミュレータ」、エッチング、マルチプロセスによるMEMS製造プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析ツール」、そのほか「プロセス逆問題解析ソフト」「MEMS回路シミュレータ」「ナノインプリント解析シミュレータ」「知識データベース」などで構成された、MEMS設計に特化した国内初の統合型シミュレーションシステムです。本システムの活用により、さまざまな分野の技術者やMEMS製造プロセスに精通していない技術者がMEMSを容易に設計し、迅速に試作評価を行うことが可能となります。

今回リリースする「MemsONE」Ver.5.0では、回路シミュレータの機能改善により、機構解析の結果から動作特性マクロモデルを抽出し、機構解析と回路解析を有機的に連携させることが可能となりました。また、各解析機能のチュートリアルの見直しや材料データベースのユーザ登録・更新機能の改善等により、ユーザの知見ならびに材料物性等のデータを活かすことで、MEMSデバイスの設計・開発にかかるストレスを軽減するとともに、より効率よく設計・開発を行うことが可能となりました。さらにユーザからの要望に応え、プロセス解析に係わる各種データの追加・拡充、回路解析のMEMS素子モデルの追加、知識データベースの補充等についても改良を行いました。MemsONEは、今後も機能強化を行うとともにGUIの英語化対応に着手することで、海外を含めてますますの普及展開を図ります。

「MemsONE」は、2008年2月にVer1.0をリリースして以来、これまでに約85機関で採用されており、出荷ライセンス数は約250となっています。今回のMemsONE Ver.5.0の発売により、Ver.1.0~Ver.4.0の導入実績と合わせ、今後1年間で約120機関、400ライセンスの普及を目指します。


  1. *1MemsONEの本格的な普及を目的に2008年2月14日に結成、MemsONEの開発・販売・頒布を行う。
  2. *2MEMS(Micro Electro Mechanical System:微小電気機械システム):電気回路(制御部)と微細な機械構造(駆動部)を融合し、ひとつの基板上に集積させた部品。半導体製造技術やレーザー加工技術など各種の微細加工技術を用いて製造され、主にインクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルや圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどに活用されている。今後、情報通信、医療・バイオ、自動車、ロボット、航空・宇宙、福祉など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されており、国内製造業における基幹部品の国際競争力強化などの観点から、重要な分野である。

MemsONE Ver.5.0の概要

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製品名 MemsONE Ver.5.0
発売日 2012年2月6日 月曜日
販売元 みずほ情報総研株式会社、株式会社数理システム
(大学・公的研究機関向け頒布は、一般財団法人マイクロマシンセンターが担当)
商品体系 MemsONE Standardシリーズ(MEMS設計・開発における実用版)
MemsONE Liteシリーズ (試用版)

MemsONE Ver.5.0での主な機能強化内容

  • 機構解析の解析結果の断面表示コマンドの連続実行の際、前回の断面位置パラメータを引き継ぐ対応
  • M行列解法パラメータ設定を変更し、高度なスケーリングにより行列解法の収束性を向上
  • 機構解析の結果から動作特性マクロモデルを抽出できるように対応
  • ファンドリの標準的なプロセスレシピ(マスクデータ含む)を追加
  • 材料データベースの機能強化とデータの充実

「MemsONE」の著作権は以下の企業・団体に帰属します。

  • 一般財団法人マイクロマシンセンター: 知識データベース、材料・プロセスデータベース
  • みずほ情報総研株式会社: 機構解析シミュレータ、プロセス解析ツール、ナノインプリント解析シミュレータ
  • 日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社: フレームワークソフト
  • 株式会社数理システム: プロセス逆問題解析ソフト、MEMS回路シミュレータ
  • *MEMSONE/メムスワンは一般財団法人マイクロマシンセンターの登録商標です。
  • *その他記載の会社名および商品名は、各社の商標または登録商標です。

ニュースリリースに関するお問い合わせ

みずほ情報総研株式会社
広報室 佐藤 綾子、石原 卓
電話:03-5281-7548
E-mail:info@mizuho-ir.co.jp

サービスに関するお問い合わせ

一般財団法人マイクロマシンセンター
MemsONEサポートセンター 水津 美晴
電話:03-5835-1870
E-mail:mems1-user@mmc.or.jp

みずほ情報総研株式会社
サイエンスソリューション部 酒井 俊行、浅海 和雄
電話:03-5281-5303
E-mail:ss-mems1@mizuho-ir.co.jp

株式会社数理システム
科学技術部 水田 千益、望月 俊輔
電話:03-3358-1701
E-mail:mems-info@msi.co.jp

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