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GEM300、SECS、HSMS対応ソフトウェア ConX300™ 機能

既存のホストシステムとの高い互換性と安定性を実現

さまざまなホストや装置にてご利用いただいているSDR™とGWGEM®を使用することでGEM300対応インターフェースに不可欠な既存のホストシステムとの高い互換性と安定性を実現しています。1年間に数回改訂されるSEMI規格で要求されている機能を忠実にパッケージ化しており、高い品質で最新のSEMI規格を容易にサポートすることができます。

300mmウェハを取り扱う半導体工場で要求されるSEMI規格に対して、ConX300は次のように対応しています。

E4, E5, E30 SECS とGEM

ConX300は、SECS/GEM機能をサポートしています。SECS-I/SECS-II/HSMS-SSはもちろん、GEMの基本条件および追加性能もすべて対応しています。

E37, E37.1 HSMS-SS

最新の半導体工場では、SECS-Iより高速なデータ通信を実現するためにHSMS-SSの実装を要求しています。ConX300は、SEMI E37およびSEMI E37.1 (High-Speed SECS Message Service)に対応しています。

E87 キャリアマネージメント

ConX300は、キャリアオブジェクトの登録からCarrier ID State、Slot Map State、Accessing State 等のステートモデルの管理を行います。E87を実現するために必要なイベントレポート、アラーム通知機能を提供します。

E40 プロセスジョブ

ConX300は、E40で定義されるプロセスジョブの登録、およびステートモデルの管理を行います。

E90 サブストレートトラッキング

ConX300は、E90で定義されるSubstrateオブジェクト、Substrate Locationオブジェクトおよび関連するステートモデルの管理を行います。

E94コントロールジョブ

ConX300は、コントロールジョブの登録、ステートモデルやキュー管理を行います。さらに300mm関連のSEMI規格で要求されるE39、E40等の関連機能もサポートします。

各規格とのリンク

ConX300は、SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94の規格にまたがるデータ、オブジェクトやシナリオを自動的に処理します。

  • *ConX300、SDRは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における商標です。
  • *GWGEMは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における登録商標です。
  • *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

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