ページの先頭です

SECS、HSMS対応通信ソフトウェア SDR™ 概要

SDRは、E5 SECS規格やE37 HSMS規格に準拠した通信機能を、半導体製造装置や工場のホストコンピューターに実装するための、組み込み型パッケージソフトウェアです。
SDRによって、工場側システムと製造装置の間でE5 SECS規格、E37 HSMS規格に準じた通信を行い、生産情報などを送受信することができます。

左右スクロールで表全体を閲覧できます

実績
  • 世界の半導体装置サプライヤ トップ15社(※)のうち、14社がSDRを使用
  • トップ15社にランクインした日本の装置サプライヤ6社中、5社がSDRを使用

※VLSI Research Inc.社発表 "2011 Top Semiconductor Equipment Suppliers"


日本製半導体装置の260種以上に導入され18,000台を超える出荷実績があります


【 SDRを導入している主な装置 ( 日本製装置 )】

マスク製造、薄膜形成、CVD、PVD、CMP、チップマウンタ、洗浄装置、光学顕微鏡、電子顕微鏡、ステッパー、EB直描、X線検査、エッチャー、アッシャー、ICテスタ、SEM、平面研削盤、レジスト塗布、インプラ、スライサー、めっき、ダイサー、ハンドラ、プローバー、裏面研削盤、スピナー、レーザマーカー、キャリア搬送機、ボンダー、スピナー、ポリッシャー、マスク検査装置

概要
  • 即入手可能な既製のパッケージソフトウェアです
  • 迅速な開発・低開発コストを実現します
  • 豊富な導入実績により実証された信頼性があります
  • 完全なSECS/HSMS-SS/GEMをサポートします
  • Microsoft® Windows®10に対応しています
  • 他の組み込みソフトウェアやミドルウェアに干渉しないシンプルなソフトウェアです
  • ドングルなどの物理キーやソフトウェアライセンスキーが不要です
  • *SDRは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における商標です。
  • *Microsoft Windowsは米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。
  • *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

関連情報

おすすめソリューション

SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS(SEMI半導体装置通信スタンダード)通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。

PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。

EIBは、Interface-A(EDA)、E30 GEM、およびGEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

GWGEMは、E30 GEM規格に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

ページの先頭へ