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SECS、HSMS対応シミュレーター SECSIM Pro®+ 概要

SECSIM Pro+ は、半導体製造装置や工場ホストシステムに実装されるSECS・HSMS(SEMI半導体装置通信スタンダード)通信機能のテストやデバッグができる通信シミュレートソフトウェアです。

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数多くの半導体製造工場で利用

装置サプライヤ、半導体製造工場で1,000を超える導入実績

  • SECSIM Pro+が出力する通信ログは装置テスト結果として認知
  • 装置の受入テスト時にホストシミュレータとして使用された実績
直感的に使用できるSECSシミュレータ

SECSメッセージ定義からデバッグ・テストまで直感的に利用可能

  • SEMI-E5の標準SECSメッセージを内包しており、容易に定義
  • メッセージの自動応答で簡単な設定後すぐにデバッグ、テストを開始
装置シミュレータとして
ホストシミュレータとして

SECS-IとHSMS-SSに対応しており装置またはホストの代わりとして活用

  • 装置サプライヤはホストシミュレータとして活用
  • デバイスメーカは装置シミュレータまたは装置受入テストとして利用
複雑な通信シナリオのデバッグ・テスト

スクリプト言語により複雑な通信シーケンスのシミュレートも可能

  • 単純な自動応答はノンプログラミングで標準装備
  • キャリア仕掛りシナリオなど一連の通信シナリオをシミュレート可能

あらゆる半導体・液晶製造ラインのSECS通信に対応

あらゆる半導体・液晶製造ラインのSECS通信に対応

SECSIM Pro+には主に旧来の200mmウェハの半導体製造ラインで採用されているSECS-I(RS-232)、及び300mmもしくは先進の450mmウェハを取り扱う半導体製造ラインで採用されているHSMS-SS(TCP/IP)両方のインターフェースが用意されています。

これらのインターフェースにより、ホストインターフェースや装置インターフェースとして使用することが可能で、装置サプライヤのみならず、半導体製造ラインでも多くの導入実績を持つソフトウェアです。

インストール後、すぐに使用出来る直感的なユーザインターフェース

SEMI-E5のSECSメッセージフォーマットが標準で用意されており、インストール後すぐに使用することができます。SECSIM Pro+が受信したSECSメッセージは自動応答機能で自動的に通信シナリオを進めるか、もしくはスクリプト言語の設定により連続した複雑な通信シナリオを実行することもできます。

  • SECSメッセージは直感的に理解しやすいSMLフォーマットで定義。1クリックで送信できます
  • 通信ログもSMLフォーマットで出力されるため、通信内容の目視確認が容易です
  • 16進表記での詳細なログやSECS-Iヘッダ、HSMSヘッダも表示できます

図
SMLフォーマットでのSECSメッセージ定義例

その他のGEM300/GEM/SECS/HSMSソフトウェア

SECSIM Pro+の他、SECS通信テスト用ソフトウェアとして、以下のラインナップを用意しています。

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・PFAT™ SECS通信テストツール
・CCS Envoy™ GEM300、GEM通信テストツール

半導体装置用ソフトウェアとして、以下のラインナップを用意しています。

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・SDR™ SECS、HSMS通信対応
・GWGEM® SECS、HSMS、GEM通信対応
・ConX300™ SECS、HSMS、GEM300通信対応
・EIB™ SECS、HSMS、GEM300、Interface-A通信対応
・PTO™ 装置統合制御システム

半導体工場ホストシステム用ソフトウェアとして、以下のラインナップを用意しています。

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・FainsCom® EASy 装置自動化支援システム

これらソフトウェアの一覧は「装置自動化・オンラインソリューション」をご覧ください。


  • *PEER Groupは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
  • *PTO、PFAT、CCS Envoyは、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
  • *GWGEM、SECSIM Pro+は、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における登録商標です。
  • *SDR、ConX300、EIB、SMLは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
  • *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。

関連情報

おすすめソリューション

PFATは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能や通信シナリオテストの他、装置の内部保有データまで評価可能な装置総合テストツールです。

CCS Envoyは、半導体製造装置に実装されるE30 GEM、GEM300、HSMS通信機能を、あらかじめ用意されたSEMI規格準拠テスト項目に基いて自動的に評価する事ができるテストツールです。

EIBは、Interface-A(EDA)、E30 GEM、およびGEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

ConX300は、GEM300 SEMI規格群に準拠した通信機能を半導体製造装置に実装することが出来る、装置組込型パッケージソフトウェアです。

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