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3次元SEM・STEM解析シミュレーター FabMeister®-EB 概要

3次元SEM・STEM解析シミュレーター「FabMeister-EB」は、実験データの解釈において理論的なアプローチを試みることに始まり、計測・評価技術の実用化支援を目指しています。

FabMeister-EBは、3次元構造の試料に対して電子線を走査し、試料からの二次電子放出、試料への二次電子再配分および電子線照射に伴う試料内ポテンシャルを考慮し、SEM像を予測/解析することが可能です。

FabMeister-EBは、TEMやSTEMにおける散乱コントラスト像を予測/解析することが出来ます。最適なコントラストを得るための試料条件(構成元素、寸法)、照射ビーム条件(電子エネルギー、ビーム電流)、検出器条件(検出角、検出器形状)等の最適化、EELSおよびEFTMの解析が可能です。

  • *「FabMeister」は、みずほリサーチ&テクノロジーズ株式会社の登録商標です。

開発目的

  • SEM・STEM解析に関する物理現象の解明
  • 3次元形状の測定・評価技術を支援

SEM・STEM解析シミュレーター概要

SEM・STEM解析シミュレーター概要

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