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3次元電子線リソグラフィシミュレーター FabMeister®-EL 概要

電子線リソグラフィにおける露光、酸の発生・拡散を考慮した現像前処理、および現像に至る一連のプロセスの解析ツールです。LER解析機能、最適プロセス条件の抽出機能等があります。

  • *「FabMeister」は、みずほリサーチ&テクノロジーズ株式会社の登録商標です。

特徴

主な解析機能の特徴を紹介します。

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最適化機能 プロセス条件の絞込み
Batch処理機能 設定パラメーターの組合せを逐次実行
化学増幅型レジスト対応 酸の発生・消滅・拡散を考慮
Directモンテカルロ法 ライン・エッジ・ラフネス(LER)解析法
直接描画リソグラフィ解析機能 マークパターン解析
PEC値自動計算機能 近接効果補正係数の算出
層間近接効果シミュレーション 多層の配線パターンへ対応

最適化機能

最適化機能

PEC値自動計算機能

PEC値自動計算機能

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