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プロセス・微細加工 FabMeisterシリーズ

プロセス・微細加工分野におけるシミュレーター等のソリューションなどを紹介しています。

3次元SEM・STEM解析シミュレーター「FabMeister-EB」は、実験データの解釈において理論的なアプローチを試みることに始まり、計測・評価技術の実用化支援を目指しています。

電子線リソグラフィにおける露光、酸の発生・拡散を考慮した現像前処理、および現像に至る一連のプロセスの解析ツールです。LER解析機能、最適プロセス条件の抽出機能等があります。

従来経験と勘に頼っていためっきプロセスにおける装置設計、パターン設計、めっきパターンレイアウトなどの最適設計を支援する3次元シミュレーターです。

みずほリサーチ&テクノロジーズでは、電子線リソグラフィシミュレーター、SEM・STEM像解析シミュレーターなど電子線散乱シミュレーション技術を用いソリューションを提供しています。

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