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MEMS用設計・解析支援システム MemsONE

マイクロマシン・MEMS分野におけるシミュレーター等のソリューションなどを紹介しています。

MemsONEは、経済産業省/独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構の委託により産学連携コンソーシアム(9企業、13大学、1研究機関、1団体)を結成し、平成16年度から18年度の3年間を費やして開発された国内初のMEMS設計開発用統合システムです。

MemsONEのシステム全体を管理し、ユーザフレンドリーなGUIを有するフレームワークシステムです。初心者にも解かり易いGUIにより、機構解析シミュレータ、プロセス解析、ウェットエッチング、プロセス逆問題解析、ナノインプリント解析、MEMS回路解析のシミュレーション機能や材料・プロセスデータベース、知識データベースなど、MemsONEの豊富な機能を統合的に管理出来ます。また、ユーザ独自の解析モジュール等の外部ソフト・外部データベースのプラグイン機能やカスタマイズ機能など優れた拡張性を実現しております。

MEMSにおける電磁駆動、静電駆動、熱型駆動等の駆動機構や動作機構を力学解析、電磁界解析、圧電解析、伝熱解析、熱変形解析、雰囲気流体の影響解析およびその連成解析により、総合的に検証評価するシミュレータです。

MEMSプロセスシミュレータもしくはエミュレータによりドライエッチングプロセス、成膜プロセス、マルチプロセスによるMEMS加工構造を実現し、総合的に検証評価するシミュレータです。材料・プロセスデータベース、知識データベースと連携することにより、ユーザーが、安心して設計解析できる環境を提供致します。

シリコン単結晶の全方位のエッチング・レート・データを基に、設定したマスクパターンに対して、3次元エッチング・プロファイルの時間変化を解析するシミュレータです。プロセス解析シミュレータと連携することにより、異方性ウェットエッチングプロセスを含めたプロセス解析が可能となります。

プロセスフローを反映し、最終形状であるMEMS加工構造からマスク形状変化を図形として求めることが可能なソフトウェアです。プロセスフローとマスクレイアウトを出力して、マルチプロセスエミュレータで実行し、簡単に機構解析を実施できます。

ナノサイズの構造をリソグラフィー技術を用いずに、より安価に加工することが可能なナノインプリント加工を解析シミュレータです。熱ナノインプリントおよび光ナノインプリントの両方の解析が可能です。また、ナノインプリント解析以外の3次元電磁波解析ツールとして使用することも出来ます。

MEMSを機械・電子系連成システムとして捕らえ、その動作を同時に結合してネットワークとして解析する回路集積化MEMSシミュレータです。従来の電気的自由度だけでなく、機械的自由度も扱うことが可能です。

主要国内ファンドリーのプロセスで得られる広範囲の材料・プロセスデータを取得し、体系化したMEMS開発・設計に特化した使いやすいデータベースです。MemsONEにおける各解析機能と連携することにより、高精度解析を実現します。

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